讲座主题：面向sub-5 nm技术节点环绕式栅极场效应晶体管晶圆级制造的极紫外光刻及原子沉积与刻蚀关键制造工艺与装备

主讲嘉宾：罗锋教授(马德里高等研究院纳米研究所)

讲座时间：2020年7月21日（周二）13:30

讲座地点：化工学院A310会议室

嘉宾简介:

西班牙马德里高等研究院纳米研究所作为西班牙二十五所杰出研究中心(Excelencia“Severo Ochoa”)之一，近年来其Nature Index科研排名迅速上升，目前在西班牙所有研究所中排名前十，在马德里地区排名中位于前三。罗锋博士目前担任该所表界面与微纳加工调控的多场耦合器件课题组长，资深研究教授(终身制)，发表SCI收录论文45篇, JCR Top期刊20篇(一作/通讯11篇)，引用1710次, h因子17。2004-2006师从马普所微结构物理所所长表面磁学先驱JürgenKirschner教授；2006-2009跟随APS/IEEE/IOP Fellow，瑞士联邦理工材料学院Laura Heyderman教授从事磁学/微纳加工研究；2010年12月加入马德里高等研究院纳米研究所任助理研究教授(预聘制)，于2013年12月提前获得终身教职，2016年6月晋升为资深研究教授(终身正教授)。

罗锋博士已经参与了20余个科研项目，目前仍在实施的8个科研项目累计资金已超过1000,000欧元。博士生冯同学于2017/06在马德里自治大学以优秀博士毕业并且获山东大学微电子学院第七批优秀博士后国际交流计划资助60万/2年。罗锋博士作为西班牙ICT/能源/材料领域技术专家，协助中国驻西班牙大使馆参赞/公司对西班牙高科技公司的潜在收购项目进行技术风险评估(2016年协助正泰电器1800万欧元收购西班牙公司GRABATENERGY，S.L.10%股权，GRABATENERGY主要定位为其母公司GRAPHENANO旗下石墨烯电池产业化平台)。